Fabrication and optical characterization of Bragg-resonating luminescence semiconductor chip

Abstract

Chapter 2. 다공성 실리콘은 간섭 막의 굴절률 조절로 인해 가시광선 및 적외선 영역에서 특정한 파장에서 보강간섭을 갖는 반사 띠를 갖기 때문에 센서 등 여러 분야에 적용될 수 있는 좋은 소재이다. 또한, 바이오센서분야로 이용될 경우 분자인식현상 (molecular recognition event)으로 매 추가 분자를 인식할 때마다 신호를 적립할 수 있는 장점이 있어 인식체가 분자수준의 신호증폭 (molecular-level amplification)을 하게 된다. 따라서 선택성을 높이고 탐지한계를 낮추는 방법론을 개선하기위해 다양한 전기화학적 식각방법을 개발한다면 다른 나노소재보다 비교우의에 있을 것으로 사료된다. 본 연구논문의 결과로 Bragg 공명 발광을 가진 다공성 실리콘의 제작으로 Acetone의 229.53 mmHg 가스농도를 감지에 성공하였고, 반사 스펙트럼과 공명이 일어나지 않은 발광스펙트럼보다 훨씬 빠른 시간 내에 탐지하는 걸 알 수 있었다. 본 연구는 다양한 학문 분야의 지식을 바탕으로 아직까지 정확히 확립되지 않은 나노센서, 나노소재의 분석 및 그 응용과 관련된 중요한 정보를 구축하는데 크게 기여할 것으로 사료된다.