ZnO 분말 타겟을 스퍼터링하여 증착한 ZnO 박막의 구조적, 광학적 특성

Abstract

본 논문은 ZnO 분말 타겟을 스퍼터링하여 증착한 ZnO 박막의 구조적, 광학적 특성을 보고한다. 소결된 ZnO ceramic target을 사용하는 보통의 radio-frequency magnetron sputtering과 달리 본 연구에서는 원재료인 ZnO 분말을 target으로 사용하였다. 투명전극으로의 활용가능성을 실증하기 위하여, glass 기판 위에 ZnO 박막을 상온에서 증착하였다. 증착된 ZnO 박막은 wurtzite(0002) 우선배향면으로 성장하였다. 초기의 ZnO 박막은 매우 평평한 층구조로 성장하였고, 두께가 증가함에 따라 섬구조로 전이하였다. UV-VIS 광 흡수 스펙트럼을 분석한 결과, 400∼1000 nm 광원에 대하여 평균 88 % 이상의 광투과도를 나타내었다. 아울러 광투과도 측정으로부터 얻은bandgap 에너지는 3.23 eV이다.